Offline FT光(guāng)學測試系統（AOI&AVI/OTP 測試）
産品分(fēn)類
全部分(fēn)類
特點:
自(zì)主研發采用進口相(xiàng)機(jī)和系統設計(jì)，支持自(zì)行編程操作(zuò)且簡單易懂(dǒng)；
設備技術(shù)參數:
産品型号：晶圓/外延片等外觀缺陷,尺寸及厚度檢測；
主相(xiàng)機(jī)配置：線掃≥8K，面掃≥500萬；
Stage：平坦度≤±1um,位置精度≤±0.1um；
軟件(jiàn)算法：一體(tǐ)機(jī)，具有控制器獨立的軟件(jiàn)；
檢測項目：各種不良項目及平面度
檢驗精度：0.5um；
檢驗方向：上、下、左右側視皆可(kě)；
檢出情況：檢出率≥99%、誤檢率≤1%；
控制系統采用的執行元件(jiàn)應具備高精度、高可(kě)靠性和反應迅速的特點。
支持自(zì)行編程操作(zuò)且簡單易懂(dǒng)，同時可(kě)最大(dà)支持99項defect可(kě)編程檢測。
支持客制化定制
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背光(guāng)AVI
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