産品分(fēn)類
全部分(fēn)類
特點:
自(zì)主研發采用進口相(xiàng)機(jī)和系統設計(jì),支持自(zì)行編程操作(zuò)且簡單易懂(dǒng);
設備技術(shù)參數:
産品型号:晶圓/外延片等外觀缺陷,尺寸及厚度檢測;
主相(xiàng)機(jī)配置:線掃≥8K,面掃≥500萬;
Stage:平坦度≤±1um,位置精度≤±0.1um;
軟件(jiàn)算法:一體(tǐ)機(jī),具有控制器獨立的軟件(jiàn);
檢測項目:各種不良項目及平面度
檢驗精度:0.5um;
檢驗方向:上、下、左右側視皆可(kě);
檢出情況:檢出率≥99%、誤檢率≤1%;
控制系統采用的執行元件(jiàn)應具備高精度、高可(kě)靠性和反應迅速的特點。
支持自(zì)行編程操作(zuò)且簡單易懂(dǒng),同時可(kě)最大(dà)支持99項defect可(kě)編程檢測。
支持客制化定制
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