激光(guāng)膜切分(fēn)條一體(tǐ)機(jī)
産品分(fēn)類
全部分(fēn)類
◆功能：
主要針對wafer上每Die逐片點燈以進行 光(guāng)學性能，電氣性能 AOI檢測
◆規格：
wafer Probe： 支持100mm/125mm/150mm/200mm Wafer
Cassette Loader，支持 Wafer自(zì)動上下料
客制化Prober Card，支持單通道&多通道測試
搭載151M光(guāng)學光(guāng)譜儀鏡頭 ，支持8K分(fēn)辨率，支持最小子像素0.8um
支持色度亮度測試
主動防震台支持VC-D/F等級
支持CIM&MES系統整合
◆特點:
·晶圓光(guāng)學測試系統，8&12inch各種材質晶圓;
·自(zì)動三軸運動控制;
·Wafer上下料，自(zì)動對位，自(zì)動測試;
·多功能夾具，支持8”&12”探針卡;
·多儀器搭載，支持AOI與光(guāng)學測試。
| 項目 | 規格 |
| 尺寸 | 長*寬高2.84m*1.90m*2.40m |
| 測試樣品大(dà)小 | 8”&12" wafer |
| 光(guāng)譜儀 | CS-2000ASR-UL2/PR788/SR3 |
| 相(xiàng)機(jī) | 4300萬,高分(fēn)辨率CCD |
| 運動系統 | 采用高精度伺服電機(jī),高精度滾珠螺杆 |
| 功能 | 色度、亮度、均勻性、光(guāng)譜測試等;支持:點、線面缺陷測試, mura測試 |
| 信号 | 支持特儀自(zì)制信号機(jī)以及市面通用品牌信号機(jī),支持客制化信号,信号格式 TTL/LVDS/MIPI/HDMI/edp/2K&4K&8K等 |
| 電源 | 支持高精度多路(lù)直流電源輸出,以及客制化電源需求 |
| 軟件(jiàn) | 特儀自(zì)主開發之軟件(jiàn),全中文版,C#編程模塊化,操作(zuò)簡單, UI界面可(kě)依據客 戶需求進行定制,軟件(jiàn)自(zì)帶各标準測試手法,可(kě)以通過直接調用模式進行測試 |
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