外觀檢測AVI~半導體(tǐ) （Wafer外觀檢測）
産品分(fēn)類
全部分(fēn)類
Micro LED激光(guāng)巨量轉移
◆特點：
·激光(guāng)巨量轉移系統;
·高精度運動控制;
·自(zì)動對位;
·多功能夾具;
·多儀器搭載，支持轉移後晶粒壞點修複;
·轉移膜。
| 項目 | 規格 |
| 尺寸 | 長*寬高:可(kě)定制 |
| 測試樣品大(dà)小 | Micro LED |
| 巨量轉移方式 | 激光(guāng) |
| 激光(guāng)器型号 | 進☐ |
| 運動系統 | 采用高精度伺服電機(jī),高精度滾珠螺杆,亞微米級。定位精度0.1um |
| 良率、精度 | 1.掃描判别率> 9.999% (扣除外觀不良) 2.重複性對位精度土(tǔ)0.5um |
| 軟件(jiàn) | 特儀自(zì)主開發之軟件(jiàn),全中文版,C#編程模塊化。 操作(zuò)簡單,UI界面可(kě)依據客 戶需求進行定制,軟件(jiàn)自(zì)帶各标準測試手法,可(kě)以通過直接調用模式進行測試 |
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